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微波等離子技術(shù)應(yīng)用及發(fā)展方向

微波等離子技術(shù)基于微波輻射與物質(zhì)相互作用的原理。當(dāng)物質(zhì)受到高頻電磁場(即微波)的輻射時(shí),分子內(nèi)部的電荷會(huì)受到激勵(lì),從而導(dǎo)致分子振動(dòng)和碰撞。當(dāng)電場強(qiáng)度足夠大時(shí),分子內(nèi)部的電荷會(huì)被激發(fā)到足夠高的能級,從而形成等離子體。這種由微波輻射產(chǎn)生的等離子體稱為微波等離子。

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